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真空蒸发镀膜应用范围和特点

浏览:552 发表时间:2019-04-29 08:25:33

真空蒸发镀膜应用范围和特点

                        固态物质源的离子镀膜技术

膜层物质来源

膜层粒子获得方法

镀膜技术类型

镀膜技术名称

气体放电方式

工作偏压(V

金属高率(%

 

固态源

热蒸发

蒸发镀

电阻蒸发镀

电子枪蒸发镀

0

0

     0

     0

 

热蒸发

 

 

蒸发型离子镀

直流二极型离子镀

空心阴极离子镀

热丝弧离子镀

阴极电弧离子镀

辉光放电

热弧光放电

热弧光放电

冷场致弧光放电

1000

100--200

100---200

100--200

1--3

20--40

>40

60--90

阴极溅射

磁控溅射离子镀

二极型溅射镀

平面靶磁控溅射镀

柱状靶磁控溅射镀

辉光放电

辉光放电

辉光放电

0

100--200

100--200

0

10--20

10--15

真空蒸发镀是在高真空度中采用热源将固态磨料蒸发成金属蒸汽,金属蒸汽原子在高真空中向工件运动膜层原子沉积在工件表面形成固态薄膜。

真空蒸发镀膜应用:日常生活用品:镜子、眼镜片、放大镜、反光镜

                  光学器件:增透膜、滤光片、分色片、分光元件、望远镜、潜望镜、显微镜、照相机

                  灯具:照明镜、汽车灯的反光罩

                  有机材料金属化:塑料、尼龙金属化。石英钟的外壳

                  柔性薄膜材料镀膜:电容器膜、防伪膜、包装膜、电屏蔽膜、柔性太阳能电池

                  防护膜:燃气轮机叶片上镀二氧化锆隔热涂层

真空蒸发镀膜技术的特点:

1)制膜材料及被镀件材料范围很广,无论是金属、金属合金、金属间的化合物、陶瓷或有机物质等都可以蒸镀各种金属膜和介质膜,而且还可以同时蒸镀不同材料而得到多层膜。

2)要镀的材料在与待镀的工件生成薄膜的过程中,对其膜厚可以进行比较精确的测量和控制,从而保证了膜厚的均匀性。

3)镀膜可以通过微调阀控制镀膜室中气体的成份和含量,按照人们的需要制成各种不同性质的薄膜。

4)镀膜过程可以实现连续化,从而大大提高产品的产量。

5)镀膜法附着力强、膜的纯度高、密实性好、表面光亮不需再加工,机械性能和化学性能远远高于电镀膜和化学膜。

 



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