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真空电镀掉膜主要有这几方面

浏览:912 发表时间:2019-06-27 08:45:19

 真空电镀掉膜主要有这几方面

       真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

 1、表面清洁度

产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

2、清洗过程中的问题

镀前清洗不到位,或更换了清洗液。
3、工艺的问题:

工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。
4、靶材的问题:

钛靶是否中毒,检查和更换。

5、真空腔是否漏气:

进行一次捡漏。
6、产品表面氧化:78
氧化的原因很多,可以自行判断处理。



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