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磁控溅射真空镀膜设备

浏览:644 发表时间:2018-01-27 09:26:44

关于磁控溅射真空镀膜设备

磁控溅射镀膜设备是一种多功能、高效率的镀膜设备。可根据用户要求配置旋转磁控靶、中频孪生溅射靶、非平衡磁控溅射靶、直流脉冲叠加式偏压电源等。

组态灵活、用途广泛,主要用于金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷等)的工件镀铝、铜、铬、钛金、银及不锈钢等金属膜或非金属膜及渗金属DLC膜,所镀膜层均匀、致密、附着力强等特点,可广泛用于家用电器、钟表、工艺美术品、玩具、车灯反光罩以及仪器仪表等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。

 

磁控溅射真空镀膜设备主要用于各种灯饰、家电、锺表、玩具以及美术工艺等行业,在金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷)等制品镀制铝、铜、铬、钛、锆、不锈钢等系列装饰性膜层。

 

磁控溅射是在溅射的基础上,运用靶板材料自身的电场与磁场的相互电磁交互作用,在靶板附近添加磁场,使得二次电子电离出更多的氩离子,增加溅射效率。磁控溅射分为平衡式与不平衡式。这种技术应用于材料镀膜。其中高功率脉冲磁控溅射近来使用较为普遍。

所谓溅射就是指被加速的正离子轰击阴极(靶)表面时,将自身的能量传给阴极表面的原子,原子离开阴极沉积在基体上。是动量传递过程。利用溅射现象沉积薄膜的技术称溅射沉积技术

磁控溅射又称为高速,低温的溅射技术。它在本质上是按磁控模式运行的二级溅射。

溅射的理论:公认的是碰撞理论,入射离子与固体表面原子发生弹性碰撞后,将其中一部分能量给了原子,该原子的动能超过它与其他原子形成的势垒(对金属约5--10ev)时,原子就会从晶格点阵碰出,形成离位原子,又与其他附近原子发生反复碰撞--联级碰撞。当原子动能超过结合能(1--6ev)时,原子离开表面进入真空室沉积在设置的基体上,形成薄膜。

磁控溅射镀膜设备的性能特点:磁控靶数量多,靶材种类变化大,各种参数变化范围大,所镀制膜层有金属、合金、化合物,可镀制单层或多层膜。


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