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真空镀膜机维护和保养

浏览:2324 发表时间:2018-06-30 16:06:40

真空镀膜机维护和保养


  

1真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。


  

2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。


  

3、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。


  

 


  

真空镀膜机安全操作规程:


  

1.在机床运转正常情况下,开动机床时,必须先开水管,工作中应随时注意水压。


  

2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。   


  

3.在用电子枪镀膜时,应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃,观察时应戴上铅玻璃眼镜,以防X射线侵害人体。


  

4.镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除有害粉尘。   


  

5.易燃有毒物品要妥善保管,以防失火中毒。   


  

6.酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。   


  

7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。   


  

8.工作完毕应断电、断水。



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